OAI 品牌358 紫外線(xiàn)和強度能量計

OAI  品牌358 紫外線(xiàn)和強度能量計

紫外線(xiàn)和強度能量計——用于高強度晶圓步進(jìn)器：ASML、Nikon、Canon和Ultratech
 
OAI  品牌358 紫外線(xiàn)和強度能量計設計用于ASML、佳能、尼康和超技術(shù)高強度晶圓步進(jìn)器?；谖⑻幚砥鞯?/span>358型
外線(xiàn)強度和能量計可測量、存儲和調用9個(gè)系列的讀數。可讀取365、400、420和436 nm
波長(cháng)的強度、能量和時(shí)間(4000 mW/cm², 999.9 mJ/cm²)。
應用
358型非常適合各種需要準確測量紫外線(xiàn)能量的行業(yè)，適用于任何需要重復、可靠紫外線(xiàn)
測量的應用。
 
特點(diǎn)：
數字顯示提供可追溯至NIST的清晰測量
測量強度、時(shí)間和能量
記錄一系列曝光的偏差百分比
探頭波長(cháng)顯示有助于防止設置錯誤
簡(jiǎn)單的按鈕操作提供可靠的結果
與許多光刻膠的光譜響應相匹配的可拆卸探針
顯示讀數可以鎖定
前面板提醒提示用戶(hù)
堅固的鋁外殼，帶有手柄和探頭袋，便于攜帶
 
參數：
強度范圍(mw/cm2)  40-4000
能量范圍 (mJ/cm2)   0-9999
時(shí)間范圍 (seconds)  0-9999
波長(cháng)選擇 (nm)    365, 400，420, 436
精度     ± 3.0 (WB)  ± 1.5 (NB)
線(xiàn)性(%)  2 
用途:   高強度步進(jìn)機 
計算 ：平均能量; 能量偏差百分比,可達9個(gè)通道的強度和時(shí)間
輸出輸入：   打印，通道選擇，選擇探頭，波長(cháng)檢查
電力   110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充電 6v電池 (自動(dòng)關(guān)閉) 
尺寸  12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量   約3.6 kg
 
更有357型號可選，區別在于波段選擇和步進(jìn)器選擇上的不同。