OAI品牌 659 紫外光能量計

OAI品牌 659  紫外光能量計

       OAI品牌 659  紫外光能量計——適用于所有晶圓步進(jìn)機
在過(guò)去的45年里，OAI一直是紫外光和能量測量?jì)x器的世界創(chuàng )造者，用于半導體、EMS、圓封裝和晶圓凸點(diǎn)等行業(yè)的光刻工藝的可靠準確校準控制。新型號659是一種新的紫外曝光分析儀，專(zhuān)門(mén)設計用于包括高強度晶圓步進(jìn)機在內的所有晶片步進(jìn)機。該儀器的平均曝光讀數高達400，具有以太網(wǎng)和USB接口，可下載記錄的測量值，強度范圍高達7500MW/cm2。探針的波長(cháng)有365nm、400nm、420nm和436nm可選。OAI擁有一個(gè)完整的認證校準實(shí)驗室，以維護我們儀表的性能、質(zhì)量和可靠性。659型儀表可追溯至NIST標準。
規格
用戶(hù)界面：觸摸屏
計算機接口：可選以太網(wǎng)和USB下載記錄
測量
電源：電池采用充電保護的3.7V鋰離子充電
充電器電源：100-240 VAC
顯示設置：2個(gè)屏幕
1.設置屏幕：以太網(wǎng)地址、日期和時(shí)間
2.運行屏幕：波長(cháng)、強度、時(shí)間、劑量、探針溫度、探針類(lèi)型、偏差百分比、序列號、校準到期日、電池狀態(tài)、探針序列號和充電器狀態(tài)。
內存存儲：高達400條讀取
強度范圍：高達7500mw/cm2
強度分辨率：0.01mW/cm2
劑量范圍：高達1000 J/cm3
劑量分辨率：0.01mJ/cm3
時(shí)間范圍：高達9999秒
時(shí)間分辨率：0.0001秒，*小劑量暴露25米秒
尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
重量：3.5磅
工作環(huán)境：15–40度
符合：ROHS2和CE（EMC和安全）
探頭規格
選項：非補償溫度探頭
探頭檢測器：硅光電二極管
可用波長(cháng)（nm）365、400、420、436
過(guò)濾器：多層吸收/介質(zhì)
強度范圍：高達7500MW/cm2
互換性：任何型號的659探針都可以與659儀表一起使用
符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

注：報價(jià)僅為主機報價(jià)，探頭可從上面4個(gè)中（365、400、420、436nm）選擇并單獨購買(mǎi)，還需提供步進(jìn)機型號。
      6XX系列替換了之前的3XX和4XX系列，3XX和4XX系列于2020年12月停產(chǎn)。